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国立情報学研究所 / National Institute of Informatics

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Technical-Report Aqua Plasma - Samco

Web370 表面設計某礎識座 shikizai 2)酸 素ガスの発生(電 子電流) 3)ア ルミニウム酸化物の生成(イ オン電流) 皮膜中をイオンが移動する。この移動するイオン種 http://www.asahiyushi.com/ks3_1.html Web自然酸化膜 ウェーハが大気に触れると、その表面が大気中の酸素と結合して10 〜20nm（10 万分の1 〜2mm）の酸化膜ができる。 しかしこの酸化膜には大気中の不純物も含まれるため、汚染のひとつという扱いになる。 洗浄装置 これらの汚染を取り除く洗浄装置として最も普及しているのはウェットステーション（ウェットベンチとかオート … is michael bolton married today